小流量塵埃粒子計數(shù)器設備是一種用于檢測潔凈環(huán)境中單位體積內(nèi)塵埃粒子數(shù)目及其分布的儀器。具有檢測速度快、精度高、人為影響小等特點，現(xiàn)已在藥檢所、防疫站、血液中心、制藥車間、精密儀器加工、質(zhì)量監(jiān)督所等部分有著廣泛的使用。

　　

　　光源是小流量塵埃粒子計數(shù)器設備的關鍵部件，對儀器的性能影響很大。光源要求穩(wěn)定性高、壽命長、不受干擾。激光塵埃粒子計數(shù)器的光源有普通光源和激光光源兩種。普通光源為碘鎢燈，體積大、發(fā)熱量高、壽命短，開機后需要預熱。激光光源為激光器，體積小、穩(wěn)定性高、壽命長，常與檢測腔及光檢測器做成一體，組成傳感器。常見的激光光源有HeNe激光器、激光二極管。采用普通光源的小流量塵埃粒子計數(shù)器設備對0.3μm以下的微粒信號響應很低，其信號幅度與計數(shù)器本身的噪聲幅度相差無幾，信號很難從噪聲中檢測出來。此類小流量塵埃粒子計數(shù)器設備雖然標有0.3μm這一通道，但只適于測定大于0.3μm特別是0.5μm以上的微粒。由于激光的單色性好，光能量集中穩(wěn)定，所以采用激光光源的小流量塵埃粒子計數(shù)器設備其傳感器有較高的信噪比，此類儀器有些能檢測到0.1μm的微粒。